To read the full version of this content please select one of the options below:

AN EMPIRICAL MODEL FOR THE ELECTRONIC STOPPING OF BORON IN SILICON

G. Hobler (Institut für Allgemeine Elektrotechnik und Elektronik, Technische Universität Wien Guβhausstraβe 27–29, A‐1040 Vienna, Austria)
H. Pötzl (Ludwig Boltzmann Institut für Festkörperphysik Kopernikusgasse 15, A‐1060 Vienna, Austria Institut für Allgemeine Elektrotechnik und Elektronik, Technische Universität Wien Guβhausstraβe 27–29, A‐1040 Vienna, Austria)
L. Palmetshofer (Institut für Experimentalphysik II, Universität Linz Altenbergstraβe 69, A‐4045 Linz, Austria)
R. Schork (Fraunhofer‐Arbeitsgruppe für Integrierte Schaltungen Artilleriestraβe 12, D‐8520 Erlangen, GERMANY)
J. Lorenz (Fraunhofer‐Arbeitsgruppe für Integrierte Schaltungen Artilleriestraβe 12, D‐8520 Erlangen, GERMANY)
C. Tian (Institut für Analytische Chemie, Technische Universität Wien Getreidemarkt 9, A‐1060 Vienna, Austria)
S. Gara (Institut für Analytische Chemie, Technische Universität Wien Getreidemarkt 9, A‐1060 Vienna, Austria)
G. Stingeder (Institut für Analytische Chemie, Technische Universität Wien Getreidemarkt 9, A‐1060 Vienna, Austria)

Abstract

A three‐parameter model for the electronic stopping power of boron in silicon is presented. The model parameters are determined from implantations into amor‐phous silicon and from channeling implantations into <100> and <100> silicon. Simulated boron profiles obtained with the new model, with the Lindhard model, and with the Oen‐Robinson model, respectively, are compared with experimental data on channeling and tilted implantations at 17 and 150 keV.

Citation

Hobler, G., Pötzl, H., Palmetshofer, L., Schork, R., Lorenz, J., Tian, C., Gara, S. and Stingeder, G. (1991), "AN EMPIRICAL MODEL FOR THE ELECTRONIC STOPPING OF BORON IN SILICON", COMPEL - The international journal for computation and mathematics in electrical and electronic engineering, Vol. 10 No. 4, pp. 323-330. https://doi.org/10.1108/eb051709

Publisher

:

MCB UP Ltd

Copyright © 1991, MCB UP Limited